MgO
氧化镁(MgO)单晶衬底广泛应用于许多薄膜技术领域。如磁性薄膜、半导体薄膜、光学薄膜和高温超导薄膜的生产。由于MgO单晶在微波波段的介电常数和损耗非常小,并且可以获得大面积的衬底(直径为2英寸或更大),因此它是当前工业化的重要高温超导薄膜单晶衬底。一可用于制作高温超导微波滤波器等移动通信设备所需的器件,具有较大的现实和潜在的应用市场。
同规格氧化镁(MgO)晶体衬底基片。
使用/应用
氧化镁用于许多薄膜技术领域:
▪ 磁性薄膜
▪ 半导体薄膜
▪ 光学薄膜
▪ 高温超导薄膜
特点/优势
MgO单晶在微波波段的介电常数和损耗非常小,可以获得大面积的衬底(直径为2英寸或更大)。
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参数
生长方法 电弧法 晶体结构 立方 晶格常数 a=4.130 Å 熔点 2800(℃) 纯度 99.95% 密度 3.58(g/cm3) 硬度 5.5(mohs) 热膨胀系数 11.2×10-6(/℃) 晶体解理面 <100> 光学透过 >90%(200~1000nm) 介电常数 ε= 9.65 热导率 36 W/m.k @ 300°K 尺寸 5×5,10×10,20×20,30x30mm ,Ø50.8 mm 厚度 0.5mm,1.0mm 抛光 单面或双面 晶向 <001>,<110>,<111> 晶面定向精度: ±0.5° 边缘定向精度: 2°(特殊要求可达1°以内) Ra: ≤5Å(5µm×5µm) 包装 100级洁净袋,1000级超净室 -
尺寸
尺寸
5x5mm,10x10mm,20x20mm,30x30mm , Ø50.8 mm
厚度
0.5mm,1.0mm
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