提拉法

1. 配料压实：将碳酸锂（Li₂CO₃）和五氧化二钽（Ta₂O₅）按照一定的摩尔比（如 49％：51％）进行混合1。在混料罐中加入包裹塑料外衣的铁球，防止原料结块，混合时间通常在 24 小时以上。然后使用压力机将原料压制成块。
2. 烧结装炉：把压制成块的原料放入马弗炉中进行烧结，烧结温度一般为 1350℃，时间约 10 小时。烧结完成后，将原料装入晶体生长炉中1。
3. 升温引晶：通过加热使原料熔化，熔化后降低加热功率 0.2-0.5kw，在熔点附近恒温 1h。接着将籽晶与熔体接触，根据液面温度调整加热功率，使籽晶表面少许熔化（缩颈），然后开启提拉机构，让籽晶匀速上升 20min，提拉速度控制在 4mm-8mm/h1。
4. 扩肩：缓慢降低加热功率，使晶体开始横向生长，提拉速度为 1mm/h-4mm/h。在肩部生长后期或等径段前期，调整坩埚位置，使坩埚以 0.5-3mm/h 的速度缓慢上升，同时相应增加籽晶杆提拉速度，增加值与坩埚底托提升速度相同，并且增加籽晶杆水冷套杆的进水量，以增加晶体内部温度梯度1。
5. 自动控制：当扩肩直径达到 5-30mm 时，开启自动温控系统，设备根据晶体称重信号自行判断升 / 降温幅度，提拉速度为 0.5mm/h-5mm/h1。
6. 降温退火：晶体生长结束后，进行缓慢降温退火，降温速率控制在 50-150℃/h。同时在上盖板上覆盖保温棉，并在其上部增加小孔盖板，减少对外热辐射传热以及对流传热，还要降低籽晶杆水冷套的进水量，以降低晶体内应力，减少晶体开裂1。

助熔剂法

1. 原料准备：准备纯度较高的碳酸锂、五氧化二钽等原料，以及合适的助熔剂，如氧化铅（PbO）、氧化铋（Bi₂O₃）等。根据所需钽酸锂晶锭的特性和生长要求，确定原料和助熔剂的比例。
2. 混合与熔化：将原料和助熔剂按比例混合均匀后，放入耐高温的坩埚中。将坩埚放入加热炉内，缓慢升温至 1200-1400℃左右，使原料和助熔剂充分熔化，形成均匀的熔体。
3. 成核与生长：达到预定温度后，让熔体在该温度下保持一段时间，使体系达到热平衡。然后通过缓慢降温或其他方法，如添加籽晶、改变温度梯度等，促使钽酸锂晶体在熔体中形成晶核，并逐渐生长。通常降温速率控制在 1-5℃/h。
4. 晶体取出与处理：当晶体生长到所需尺寸后，将坩埚从加热炉中取出，自然冷却或采用适当的冷却方式使熔体凝固。然后将凝固后的晶体从坩埚中取出，去除表面附着的助熔剂等杂质。可采用化学溶液清洗或物理方法（如机械研磨、超声清洗）进行处理。

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