蓝宝石衬底的常见类型主要有C面、R面、A面和M平面方向等几种。
C面蓝宝石衬底：这是应用最广泛的蓝宝石衬底类型。它主要用于生长III-V和II-VI化合物半导体，如氮化镓（GaN），并广泛应用于激光二极管、明亮的蓝色和绿色LED、红外探测器以及通用光学等领域12。
R面蓝宝石衬底：R面是蓝宝石的非极性面，优选用于硅的异质外延沉积。它主要用于制造半导体、微波和微电子集成电路应用。R平面SoS（Silicon-on-Sapphire）芯片在集成电路和光伏领域有广泛应用12。
A面蓝宝石衬底：A-Plane蓝宝石衬底可用于混合微电子和光电应用。研究人员常使用化学气相沉积（CVD）在A面蓝宝石上生长AlGaN外延层1。
M平面方向蓝宝石衬底：虽然具体的应用细节可能因具体产品和工艺而异，但M平面方向的蓝宝石衬底同样具有其特定的应用场景和优势。
这些不同类型的蓝宝石衬底，因其独特的晶体结构和物理性能，在不同领域展现出了广泛的应用潜力。
蓝宝石衬底生产工艺中哪一步最难? 蓝宝石晶片的 A 面、P 面、M 面的性能有何差异？ 蓝宝石晶片的A面、P面、M面有什么区别？ 彩色蓝宝石晶体/晶棒 彩色蓝宝石/彩色刚玉宝石晶体2024年最新
