蓝宝石晶片载体衬底
表面粗糙度:Ra < 0.5nm
厚度:0.1-2mm
表面质量:1sp 2sp 磨削
高光:350微米蓝宝石衬底,蓝宝石晶片载体衬底,单面抛光蓝宝石衬底晶片
产品描述:
6英寸(约153毫米-156毫米-159毫米)厚度为350微米(0.5毫米)的蓝宝石载体衬底晶片,具有单面抛光(SSP)和双面抛光(DSP)加工。
产品描述:
蓝宝石粘接片用于镉镓砷晶片的薄化和抛光。由于设备施加的重量和压力,传统的镉镓砷晶片薄化过程容易导致晶片断裂,或在薄化过程中表面应力累积形成卷曲,严重损失产品性能。用于薄化的金属圆片容易产生金属污染,晶片粘合剂和化学研磨液容易引入污染。
新的薄化工艺使用蓝宝石晶片(直径略大于目标晶片)在高温条件下与镉镓砷晶片粘合。镉镓砷/蓝宝石粘接晶片附着在陶瓷盘上,通过特殊夹具进行薄化和抛光,然后在高温冲洗中融化以分离蓝宝石和镉镓砷晶片。
新的薄化工艺可用于镉镓砷和各种半导体晶片的薄化加工,载体材料可以是蓝宝石、玻璃等抛光晶片。
由于其优越的物理和化学性能以及晶体结构,蓝宝石成为主流的载体选择。我公司推出的蓝宝石载体符合行业标准的薄化设备要求,4英寸晶片直径为104毫米。6英寸晶片的直径为156毫米或159毫米,略大于标准的4英寸和6英寸晶片,抛光表面粗糙度。

技术参数:




6英寸(约153毫米-156毫米-159毫米)厚度为350微米(0.5毫米)的蓝宝石载体衬底晶片,具有单面抛光(SSP)和双面抛光(DSP)可OEM/ODM定制尺寸与颜色