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单晶靶材——高速荷能粒子轰击的目标材料

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单晶靶材

靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料。主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等,亦可应用于玻璃镀膜、 耐磨材料、高温耐蚀和高档装饰用品等。

靶材包含金属类、合金类、陶瓷类、单晶类等,上海鑫科汇新材料有限公司提供常见的金属靶材,包含且不限于以下。

材料 纯度 最大尺寸
Al2O3 4N ∅3〞
MgO 4N ∅2〞
SrTiO3 4N ∅30
Si 5N ∅4〞
SiO2 5N ∅4〞
Ge 5N ∅4〞,∅2〞
LaAlO3 4N ∅2〞,∅3〞

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